發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力是創(chuàng)新命題，也是孝感高新區(qū)邁入新賽道、搶抓新機(jī)遇的核心動力。近年來，高新區(qū)聚焦算力和光子等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和未來產(chǎn)業(yè)，大力發(fā)展光電子信息和高端裝備制造產(chǎn)業(yè)，形成一批“國際領(lǐng)先”“全國首創(chuàng)”“獨(dú)一無二”的硬科技。

湖北元臻微電科技有限責(zé)任公司（以下簡稱“元臻微電”）就是典型的代表企業(yè)之一。

近日，記者走進(jìn)元臻微電生產(chǎn)車間，技術(shù)人員正緊張有序地在已建設(shè)完成第一條xMR產(chǎn)線上，對高真空退火爐、磁控濺射等設(shè)備進(jìn)行全流程調(diào)試，確保7月初順利生產(chǎn)。

元臻微電年產(chǎn)2萬個xMR量子材料項(xiàng)目，成立于2023年11月，總投資2億元，該企業(yè)是全球唯一一家專業(yè)提供xMR磁傳感材料和xMR傳感核心的企業(yè)。

xMR傳感核心。

“企業(yè)主要產(chǎn)品包含晶圓材料、xMR傳感核心及xMR+MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)器件三大類，廣泛應(yīng)用在智能電網(wǎng)、高端工控、人形機(jī)器人、低空經(jīng)濟(jì)、生物傳感器、新型傳感和消費(fèi)電子等領(lǐng)域。”元臻微電副總經(jīng)理張鵬介紹，晶圓材料是底層基礎(chǔ)，為xMR傳感核心提供基底支撐，而xMR+MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)器件則通過技術(shù)集成實(shí)現(xiàn)從核心組件到終端產(chǎn)品的進(jìn)階，三大類產(chǎn)品呈明確的技術(shù)遞進(jìn)關(guān)系，凸顯出企業(yè)在半導(dǎo)體傳感領(lǐng)域的全鏈條技術(shù)布局能力。

其中，xMR+MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)器件技術(shù)是全球唯一且獨(dú)有的。

據(jù)了解，該企業(yè)由理論物理專家、量子傳感專家以及xMR傳感器專家組成的高質(zhì)量創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)，從基礎(chǔ)理論、材料、測試到MEMS加工以及算法封測等形成了一套完整的技術(shù)體系。團(tuán)隊(duì)在美國及國內(nèi)已申請并獲得多項(xiàng)發(fā)明專利，覆蓋xMR薄膜材料、核心結(jié)構(gòu)以及制備方法。

“市面上多數(shù)企業(yè)聚焦于器件應(yīng)用開發(fā)，全球沒有幾家在做材料?！睆堸i介紹，我們所做的晶圓材料，是在傳統(tǒng)硅晶圓基底上，鍍制了一層幾十納米厚、具備自旋效應(yīng)的量子材料薄膜，讓產(chǎn)品具有極高的電磁敏感性，即使外界磁場發(fā)生微小變化，也會引發(fā)顯著的電阻波動，在性能上遠(yuǎn)超同類產(chǎn)品。

張鵬說，以智能電網(wǎng)為例，電流通過導(dǎo)線時會在周圍產(chǎn)生磁場，傳感器可借該材料精準(zhǔn)感測電流大小，這對長距離高壓輸電中，幾公里到上百公里級線段的電流及損耗監(jiān)測至關(guān)重要。同時也能用于家庭電表漏電檢測，減少國家電網(wǎng)在電力運(yùn)輸過程中的損耗。

在生物傳感器方向，相關(guān)技術(shù)主要用于阿爾茨海默癥（即老年癡呆）的初步篩查，也適用于肺癌腫瘤細(xì)胞、乳腺癌篩查以及制藥廠的檢測場景。這種生物傳感器可在社區(qū)醫(yī)院為老年人提供快速篩查服務(wù)，能在半小時內(nèi)完成檢測且精準(zhǔn)度較高，為老年群體的疾病早期篩查提供了便捷的基層醫(yī)療解決方案。

“目前，第二條和第三條產(chǎn)線正在規(guī)劃建設(shè)中。”張鵬說，今后在技術(shù)上將圍繞自旋電子學(xué)+MEMS技術(shù)，加大研發(fā)投入，對底層技術(shù)不斷迭代，幫助下游企業(yè)進(jìn)行技術(shù)升級，產(chǎn)品迭代，形成中國本土化規(guī)模化效應(yīng)。

策劃：左硯文、喇曉光

記者：楊卓玉

通訊員：宋晴

出品：孝感高新區(qū)辦公室、荊楚網(wǎng)（湖北日報網(wǎng)）